水質(zhì)指標(biāo)
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中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)
中國(guó)電子行業(yè)超純水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) (GB/T11446.1-1997 )
指 標(biāo) 名 稱
一 級(jí) 水(EW-1)
二 級(jí) 水(EW-2)
電阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰時(shí)間)不低于17
15(95‰時(shí)間)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒數(shù) >1μm
0.1
5
細(xì)菌個(gè)數(shù) ≤個(gè)/ml
0.01
銅 ≤μg/L
0.2
1
鋅 ≤μg/L
鎳 ≤μg/L
鈉 ≤μg/L
0.5
鉀 ≤μg/L
氯 ≤μg/L
硝酸根 ≤μg/L
磷酸根 ≤μg/L
硫酸根 ≤μg/L
總有機(jī)碳 ≤μg/L
20
100
中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水GB/TII446.1-1997標(biāo)準(zhǔn)
指標(biāo)\級(jí)別
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
電阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%時(shí)間)不低于17
15,(95%時(shí)間)不低于13
12.0
全硅,最大值,μg/L
50
1000
>1μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/mL
500
細(xì)菌個(gè)數(shù),最大值,個(gè)/mL
銅,最大值,μg/L
鋅,最大值,μg/L
鎳,最大值,μg/L
鈉,最大值,μg/L
鉀,最大值,μg/L
氯,最大值,μg/L
硝酸根,最大值,μg/L
磷酸根,最大值,μg/L
硫酸根,最大值,μg/L
總有機(jī)酸,最大值,μg/L
200
中國(guó)實(shí)驗(yàn)室用水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 實(shí)驗(yàn)用三個(gè)等級(jí)凈化水的技術(shù)要求(GB6682-1992)
一級(jí)水:基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質(zhì)及有機(jī)物。它可用二級(jí)水經(jīng)進(jìn)一步處理而制得。 二級(jí)水:可含有微量的無(wú)機(jī)、有機(jī)或膠態(tài)雜質(zhì)。 三級(jí)水:適用一般實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)工作。
一 級(jí)
二 級(jí)
三 級(jí)
pH值范圍(25oC )
—
5.0-7.5
電導(dǎo)率 (25oC )(μs/cm) ≤
1.0
5.0
可氧化物的限度試驗(yàn)
符合
吸光度(254nm,1cm 光程) ≤
0.001
二氧化硅(mg/L) ≤
0.02
0.05
中國(guó)實(shí)驗(yàn)室用水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 實(shí)驗(yàn)用三個(gè)等級(jí)凈化水的技術(shù)要求(GB6682-2008) 純水水質(zhì)按照GB6682-2008水標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類,可以分為以下三類:(1)三級(jí)水標(biāo)準(zhǔn),電阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃;(2)二級(jí)水標(biāo)準(zhǔn),電阻率≥1MΩ.cm @25℃; (3)一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn),電阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。
指標(biāo)
一級(jí)
二級(jí)
三級(jí)
pH值范圍(25℃)
--
電導(dǎo)率(25℃),mS/m. ≤
0.10
0.50
可氧化物質(zhì)(以0計(jì)),mg/L <
0.08
0.4
吸光度(254nm,1cm光程) ≤
蒸發(fā)殘?jiān)?05°±2℃),mg/L ≤
2.0
可溶性硅(以SiO2計(jì))mg/L <